分辨率无可匹敌的X-射线扫描显微镜

PI miCos设计和交付XYZ平台，平台由花岗岩制成，可确保均匀度和长期稳定性，且可免受振动等环境影响。平台可提供2000毫米 × 1000毫米 × 100毫米的线性位移，而总位置偏差小于14微米。允许螺距误差在2000毫米的全行程范围内被限制为50微弧度。任意方向上的位置重复精度为±1微米。现场调试和启动操作均由PI miCos完成。