V-Z02.016211E0 新产品!
高负载精密Z向位移台；无铁芯三相直线电机；宽度为203mm；行程为5mm；负载能力为100N；最大速度为20mm/s；增量直线光栅尺，传感器信号周期为20µm，正弦/余弦，1Vpp
新产品
V-Z02 高负载精密Z向位移台
高性能且具成本效益，直线电机驱动，高动态
- 行程达5mm
- 直线光栅尺
- 负载能力达100N
- 集成气动平衡器
Z向位移台的轴和力矩方向
V-Z02，尺寸单位是mm
V-Z02 高负载精密Z向位移台
产品描述
规格
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精密级Z向位移台
非常准确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳进给的防蠕动交叉滚柱导轨。
直线电机直接驱动器
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。
增量式直线光栅尺用于高精度位置测量
非接触式可选编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。
平衡配重系统
集成气动平衡器，作用力高达100N。
应用领域
适用于工业和科研领域，例如：半导体检测。精密自动化领域的高动态应用。
规格
| 运动 | V-Z02.016211E0 | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | Z | |
| Z向上的行程 | 5 mm | |
| Z向上的最大速度，空载 | 20 mm/s | |
| 平面度（沿Z向运动时X向上的线性串扰） | ± 1.5 µm | typ. |
| 直线度（沿Z向运动时Y向上的线性串扰） | ± 2 µm | typ. |
| Yaw（沿Z向运动时θX向上的转动串扰） | ± 18 µrad | typ. |
| Pitch（沿Z向运动时θY向上的转动串扰） | ± 45 µrad | typ. |
| 定位 | V-Z02.016211E0 | 公差 |
| Z向上的最小位移 | 0.05 µm | typ. |
| Z向上的已校准定位精度 | ± 0.3 µm | typ. |
| Z向上的双向重复精度 | 0.4 µm | typ. |
| 集成传感器 | 增量直线光栅尺 | |
| 传感器信号 | 正弦/余弦，1Vpp | |
| 传感器信号周期 | 20 µm | |
| Z向上的系统分辨率 | 0.2 nm | |
| 驱动性能 | V-Z02.016211E0 | 公差 |
| 驱动类型 | 无铁芯三相直线电机 | |
| 标称电压 | 48 V | |
| 标称电流，均方根 | 3.2 A | typ. |
| 峰值电流，均方根 | 7.3 A | typ. |
| Z向上的驱动力 | 40 N | typ. |
| Z向上的峰值力 | 90 N | |
| 力常数 | 12.4 N/A | |
| 电机常数 | 29 N/√W | typ. |
| 时间常数 | 0.36 ms | |
| 相间电阻 | 1.8 Ω | typ. |
| 相间电感 | 0.62 mH | |
| 相间反电动势 | 10.1 V·s/m | max. |
| N-N极距 | 24 mm | |
| 100%占空比的线圈功耗 | 70 W | |
| 机械性能 | V-Z02.016211E0 | 公差 |
| Z向上的允许推力 | 100 N | max. |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 | |
| 总质量 | 4400 g | |
| 材料 | 阳极氧化致黑铝、不锈钢 | |
| 其他 | V-Z02.016211E0 | 公差 |
| 工作温度范围 | 5至40 °C | |
| 连接器 | HD D-sub 26针（公头） | |
| 传感器连接器 | D-sub 15针（公头） | |
| 推荐控制器/驱动器 | S-C02-2CST、S-C02-2CSC、G-910.RC0242200、模块化ACS控制器 |
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
