晶圆检验中的薄膜计量
花岗岩底座运动系统，实现经济高效的缺陷扫描与定位
对于各类晶圆而言，均匀的基板和器件层厚度以及极低的缺陷密度是决定成品率的关键前提条件。 同时，晶圆的电阻率也需严格符合相关标准。 为此，需要对薄膜进行表征，以评估其厚度、电阻率以及表面质量和粗糙度等特性。 快速可靠的测量技术有助于尽早发现缺陷，防止成品率损失，从而降低成本。
PI目前正大力开发晶圆定位的运动解决方案，以便高效测量晶圆的关键特性。
θZ轴 - 晶圆或基板的精细旋转分度和对准
- 高精度且可重复的360°旋转，无空回
- 磁性直接驱动器可实现高速度和加速度
- 直接驱动、无槽、无刷力矩电机可提供极低的齿槽转矩并实现平稳的速度和低误差运动
- 超精密空气轴承由内部开发和制造
- 性能更上一层楼，进一步优化异步性能规格
>> 直接驱动力矩电机技术
Z轴 - 精密晶圆对准
- 低轮廓、高负载、结构紧凑的优异设计
- 直驱音圈技术可实现零齿槽效应、纳米级步长的平滑运动以及快速响应
- 高分辨率编码器可实现运动平台的纳米级定位
- 高精度防蠕动交叉滚柱轴承
- 气动平衡防止电机发热和碰撞
- 经济实惠，交付快捷
>> 直接驱动电机技术
XY轴 - 精密步进和稳定运动
- 基轴上配有高动态耦合无铁芯直线电机，可实现强大、快速和精密的运动
- 双编码器系统确保电机和偏转角对准，同时提高分辨率和精度
- 低矮外形的多轴承刚性平台，可减少阿贝偏移并提高平面度和直线度
- 设计可实现高度的灵活性和定制性
- 优化的集成电缆管理可减少运动阻力并延长使用寿命
- 花岗岩底座可确保运动系统的较高性能
- 选装主动式隔离减振
>> 直接驱动直线电机平台
灵活轻松的自动化控制
- EtherCAT®控制器，支持开放网络连接
- 先进的算法保障快速步进和稳定、在位稳定性以及出色的恒定扫描速度
>> ServoBoost™ - 控制器具有自动聚焦功能，可实现动态聚焦调整
- 前瞻功能可调整速度以保持精度
>> 运动控制器
规格
| 运动 | 定制X轴 | 定制Y轴 | V-Z03 | θ | 单位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 主动轴 | X | Y | Z | T | ||
| 行程 | 365 | 355 | 5 | 无限可调 | 毫米 | |
| 最大加速度 | 15 | 15 | 3 | 41.8 弧度/平方秒 | 米/平方秒 | 空载 |
| 最大速度 | 1000 | 1000 | 20 | 41.8 弧度/秒 | 毫米/秒 | 空载 |
| 双向重复性 | ±0.4 | ±0.4 | ±0.25 | ±1 角秒 | 微米 | 典型值 |
| 精度（已校准） | ±1 | ±1 | ±0.5 | ±2 角秒 | 微米 | 典型值 |
| 直线度 | ±2.5 | ±2.5 | ±1 | ±0.1 | 微米 | |
| 平面度 | ±2.5 | ±2.5 | ±1 | ±0.1 | 微米 | |
| 俯仰角 | ±5 | ±10 | ±10 | ±0.5 | 角秒 | |
| 偏转角 | ±10 | ±10 | ±10 | ±0.5 | 角秒 | |
| MIM | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.5 角秒 | 微米 | |
| 抖动 | ±10 | ±10 | ±10 | ±0.2 角秒 | 纳米 | |
| 总平面度 | 15 | 微米 | ||||
| 负载能力 | 5.0 | 千克 | ||||
| 电气属性 | |
|---|---|
| 运动控制器型号及版本 | SP+EC-08080864NBN5NDNN (1pcs) |
| 驱动模块产品编号 |
NPMpm2D20N0YBBANNB (1pcs) NPMpm2B20N0YBBANNB (1pcs) UDMsa-1B101-TNNNN (2pcs) |
| 数字I/O | 否 |
| 安全扭矩关断(STO) | 是 |
| 控制集成解决方案 | 机架内电气元件 |
| 配件 | 不可用 |
