A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪
高性能,紧凑型XY纳米定位系统
- 扫描应用的完美选择或精密定位
- 无尘室兼容
- 行程达200 毫米 × 200 毫米
- 负载容量达147 牛
- 低外形
- 分辨率达1纳米
A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪
产品描述
规格
下载
报价/订购
产品概述
带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计,可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限,能够节省机械空间。
PIMag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。
利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 多轴运动控制器和直接驱动器
- 机器底座
- 花岗岩底座板和隔振系统
应用领域
PIglide 定位系统特别适合高精度应用,例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。
规格
规格
Select a travel range:
运动 | A-311.Dxx | A-311.Axx | A-311.Bxx | A-311.Cxx | 单位 | 公差 |
---|---|---|---|---|---|---|
行程 | 50 × 50 | 100 × 100 | 150 × 150 | 200 × 200 | 毫米 | |
螺距(1) | 20 | 25 | 35 | 40 | 微弧度 | 最大 |
偏转角(1) | 10 | 10 | 15 | 20 | 微弧度 | 最大 |
直线度(1) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 1 | 微米 | 最大 |
每10毫米行程的直线度(1) | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | 纳米 | 最大 |
平面度(1) | 0.5 | 0.5 | 1 | 1.5 | 微米 | 最大 |
每10毫米行程的平面度(1) | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 | 纳米 | 最大 |
XY正交性 | 25 | 25 | 25 | 25 | 微弧度 | 最大 |
速度,空载(2) | 2 | 2 | 2 | 2 | 米/秒 | 最大 |
上轴加速度,空载(2) | 27.5 | 27.5 | 27.5 | 27.5 | 米/平方秒 | 最大 |
下轴加速度,空载(2) | 15 | 13 | 11 | 10 | 米/平方秒 | 最大 |
(1)取决于平台安装表面的平面度。
(2)可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3)假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。
(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用,请联系PI。
(5)通过基于控制器的误差补偿,可获得改善的精度。为实现这些数值,平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段,不考虑平台上热漂移的长期影响。
(6)为防止平台损坏,建议将空气压力传感器连接到控制器运动停止输入端。
如未有其他规定,所有规格逐轴应用。
下载
产品注解
产品注解
Product Change Notification A-xxx.*C1
版本/日期
2018-08-02
pdf - 71 KB
English
数据表
文件
文件
User Manual A311D0002
版本/日期
2.0 2021-11-11
pdf - 955 KB
English
文件
用户使用手册A311D0001
PIglide IS:XY平面空气轴承平台
版本/日期
1.5 2019-01-28
pdf - 1 MB
English
3D模型
3D模型
3-D模型A-311
版本/日期
2021-11-12
zip - 15 MB
报价/订购
就所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。
A-311.AA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.AB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,100毫米 × 100微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.BA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,150毫米 × 150微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.BB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,150毫米 × 150微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.CA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,200毫米 × 200微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.CB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,200毫米 × 200微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.DA1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,50毫米 × 50微米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-311.DB1
PIglideISPlanarscanner,空气轴承,50毫米 × 50微米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏