光子器件的测试、组装和封装

经市场验证用于阵列对准的六自由度六足位移台和压电陶瓷系统

光子结构或元件(如波导、光电二极管、激光器和复用器)的集成给测试和组装过程带来了各种挑战,这种挑战从晶圆级别持续到芯片最终封装阶段。 共同的主题:多条通道、多个元件、多交互输入和输出、跨多个自由度,所有这些都需要多重对准优化。 传统上,这项工作非常耗时,且成本高昂。 但是,PI的多通道光子学对准(FMPA)系统和内置于控制器中的独有对准算法,可自动实现跨通道、设备和自由度的同步对准,从而一步快速优化整体对准。 与串行操作相比,对准时间和成本可降低99%。

主要特点

跨多个阵列通道、I/O、元件和自由度的同步主动对准
并行处理速度是串行操作的100倍
对准时间成本降低99%
可扩展性实现了晶圆厂级操作
长期工艺步骤中的可靠跟踪
优化所有品质因数

XYZ轴 - 光学部件的纳米级对准

  • 并联运动压电系统,具备全方位高刚性
  • 机械设计扫描频率高达100Hz,可实现快速跟踪
  • 零间隙柔性铰链导向可实现高导向精度而不会产生任何磨损或颗粒
  • 集成传感器确保运动的极佳线性和长期稳定性
  • 带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器可实现极长的使用寿命
    >> P-616 NanoCube®纳米级定位器
    >> F-712双边对准系统

XYZ / θX θY θZ轴 - 光学部件的亚微米级对准

便捷易用且灵活的自动化控制

  • EtherCAT®可快速集成到具有高处理能力的工业系统中
  • 高性能工业控制器内置扫描和对准程序,以毫秒级的响应速度实现自动化和优化并行处理
  • 基于用于第一束光检测的快速区域扫描算法和用于峰值耦合的梯度搜索算法,专有固件可实现快速对准
  • 软件支持常见操作系统和多种编程语言,包括MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW
  • 使用PIMicroMove软件,可快速启动且易于使用
    >> 采用EtherCAT的C-887六足位移台运动控制器®
    >> E-712数字式压电控制器

系统运行中

是否想要更多地了解我们的解决方案?我们的专家乐意效劳。

立即联系我们!
PI China Contact